Design af metalorganiske molekylære prækursorer til atomlagsaflejring
- ophavsmand: Gerkens, Dr. Jan
- Verfügbarkeit: Auf Lager
- EAN: 9783863761820
€39,90
I de seneste årtier var miniaturisering af materialer immanent inden for alle teknologiområder, især i halvlederindustrien. I dag har miniaturisering af halvledende forbindelser nået et niveau, hvor etablerede fremstillingsprocesser når deres tekniske grænser. Atomic Layer Deposition (ALD) tilbyder en alternativ metode til afsætning af ultratynde metalliske film, som er et...
I de seneste årtier var miniaturisering af materialer immanent inden for alle teknologiområder, især i halvlederindustrien. I dag har miniaturisering af halvledende forbindelser nået et niveau, hvor etablerede fremstillingsprocesser når deres tekniske grænser. Atomic Layer Deposition (ALD) tilbyder en alternativ metode til afsætning af ultratynde metalliske film, som er et afgørende trin i fremstillingen af halvledende forbindelser. Baseret på en kemisk reaktion mellem overflade og gasfase er ALD en proces, der berører både syntetisk kemi og materialevidenskab.
Denne ph.d.-afhandling fokuserer på udviklingen af nye kemikalier til brug som prækursorer i ALD. Inden for et forsknings- og udviklingssamarbejde med BASF studeres og evalueres egenskaberne af en ny serie af kobolt- og nikkelsilylamidokomplekser i opløsning, i fast tilstand og i gasfase med hensyn til deres anvendelse som ALD-precursor. Endvidere blev deponeringsforsøg af tantal og molybdænchalcogenider udført for at teste anvendelsen af ALD inden for elektrokemisk vandspaltning.
Detaljer
- Titel: Design af metalorganiske molekylære prækursorer til atomlagsaflejring
- Undertekster: - Atomisk lagaflejring: Udfordringer og muligheder - Syntese og karakterisering af en ny serie af lavvalente koboltamidokomplekser - Identifikation af lovende koboltholdige forstadier til atomlagsaflejring...
- Forfatter: Dr. Jan Gerkens
- Udgave: 1. udgave
- Universitetet: Georg-August Universitetet i Göttingen
- Udgivet: 1. udgave 21. december 2020
- Emne: Kemi
- Produkttype: Bog (hardcover)
- Produkttype: Afhandling
- Sprog: Engelsk
- Indbinding: Softcover (paperback)
- Mål: 21,0 x 14,8 cm (DIN A5)
- Omfang: XII / 143 sider
- Tilstand: Ny (krympeindpakket i folie)
Downloads
DRM: Digitalt vandmærke
Denne e-bog indeholder et digitalt vandmærke og er derfor personliggjort til dig. Hvis e-bogen videregives til tredjeparter på misbrug, er det muligt at spore den tilbage til kilden.
Filformat: PDF (Portable Document Format)
Med et fast sidelayout er PDF'en særdeles velegnet til fagbøger med spalter, tabeller og figurer. En PDF kan vises på næsten alle enheder, men er kun egnet i begrænset omfang til små skærme (smartphone, e-reader).
Systemkrav:
PC/Mac: Du kan læse denne e-bog med en pc eller Mac. Du skal bruge en PDF-fremviser - fx Adobe Reader.
e-læser: Denne e-bog kan læses med (næsten) alle e-bogslæsere. Den er dog ikke kompatibel med Amazon Kindle.
Smartphone/tablet: Uanset om det er Apple eller Android, kan du læse denne e-bog. Du skal bruge en PDF-fremviser - fx Adobe Reader.
Køb af e-bøger fra udlandet
Af skatteretlige årsager kan vi sælge e-bøger kun inden for Tyskland og Schweiz. Vi kan desværre ikke opfylde e-bogsordrer fra andre lande.